Inovatívne plazmové nitridovanie prostredníctvom dynamického riadenia procesu pomocou optických frekvenčných hrebeňov

Absolútnou prioritou spoločnosti RÜBIG je neustály ďalší vývoj, aby bola vždy na špičke techniky. Na tento účel je spojenie odborných znalostí vynikajúcim spôsobom, ako zostať vpredu. S Norbertom Langom, Ibrahimom Sadiekom a Uwe Macheriusom z INP v Greifswalde, ako aj so Stefanom Maternom zo spoločnosti Menlo Systems GmbH sme našli perfektných partnerov na realizáciu meracej kampane v rámci projektu InPro-F (inovatívne plazmové nitridovanie prostredníctvom dynamického riadenia procesu s využitím optických frekvenčných hrebeňov). Druhy vznikajúce v plazme sa merajú a analyzujú pomocou laserov.

Podrobnosti o výskumnom projekte

Laserová absorpčná spektroskopia v infračervenom spektrálnom rozsahu je vhodnou metódou na optickú kontrolu procesu pri plazmovej nitridácii. Bežné spektroskopické systémy by boli príliš zložité a príliš drahé na použitie v priemyselnom nitridovaní plazmou, pretože na meranie koncentrácií plynov a molekúl relevantných pre proces by bolo potrebných veľa laserových zdrojov. Pomocou optického frekvenčného hrebeňa, ktorý nahrádza mnoho tisíc laserov, možno koncentrácie týchto druhov zaznamenávať súčasne a sprístupniť ich na riadenie procesu.

Podmienky pri priemyselnom plazmovom nitridovaní však okrem iného kladú vysoké nároky na kompaktnosť, robustnosť a rozlíšenie. V rámci spoločného projektu InPro-F sa majú vyvinúť nové techniky a inovatívne komponenty spektroskopického systému založeného na frekvenčnom hrebeni, ktoré sú na to potrebné. V rámci spoločného projektu budú MSP Menlo Systems GmbH a neoplas control GmbH realizovať potrebný vývoj spolu s Leibnizovým inštitútom pre výskum plazmy a technológie e. V. ako akademickým partnerom.

Spoločnosť RÜBIG GmbH & Co KG ako popredný výrobca nitridovacích zariadení sformuluje príslušné požiadavky, podporí vývoj a poskytne priemyselné odborné znalosti a nitridovacie systémy na vývoj, testovanie a overovanie. Cieľom projektu je demonštrátor kompaktného a robustného systému frekvenčného hrebeňa, ktorý sa môže používať v priemyselných procesoch plazmového nitridovania, čo umožní kontrolu procesu in situ, a tým sprístupní komerčný a ekologický potenciál úspor tohto procesu.

Malým a stredným podnikom sa otvorí nový odbytový trh s potenciálom dlhodobého rastu a pridružený partner bude môcť upevniť svoje vedúce postavenie na trhu.